NECS'T（スパッタリング式薄膜成膜装置）｜株式会社ニクニ

ニクニのスパッタリング式薄膜成膜装置「NECS'T」は、量産プラスチック部品向けの画期的な表面処理を提供する装置です。 既存設備の金型と射出成形機を使用し、成形機近く（プレスサイト）に本機を設置し、成形された部品は成形直後に金型から専用ロボットで本機成膜室内の治具に取付けられ、低真空域（1Pa）で短時間にスパッタリングできます。 プラスチック部品は空気中の水蒸気を吸収する前に成膜することになるため、大幅な工程集約で汚染源を減らし、製品歩留りを大幅に改善します。（90％→98％） 低真空（1Pa）スパッタリングのため大型真空成膜室や真空ポンプが不要となります。 洗浄機や乾燥機、静電除去コンベア等の設備も不要となるため、少ない設備投資で最新の成膜装置の装備が可能となります。 低真空処理とサイクルタイム短縮を実現し、高効率生産で成膜の消費電力の大幅削減、静電除去、洗浄、加熱乾燥、密着性を高めるプレコート処理等の工程集約により、トータル電気消費量を従来処理の1/20程度に削減し、CO2削減目標のクリアを現実のモノとします。 サイクルタイムの短縮で成形タクトに合わせた成膜が可能となり、バッチ処理による工程内在庫が発生しない理想の一個流し生産が可能となります。 梱包、保管、搬送、開梱、洗浄、乾燥等の工程をなくしムダの徹底的な排除が図れます。 小型成膜室でも大型成膜室と同様に多層膜、重合等の複雑な処理の対応が可能となります。